然后刘海就来到了烽火科技公司。
“谢谢老板。”倪南看到刘海先道谢,刘海来的是办公的地方,实验室在另外的地方,当然刘海是从地下停车场上来的。
“算起来是我赚了,毕竟你们都在给我工作。”刘海呵呵一笑。
“老板,龙芯三代芯片测试顺利进行。”
“很不错。”刘海点点头。
“光刻机掩模方向研究怎么样?”刘海问的光刻机掩模技术,是在光刻机发展里程碑上重要的技术这项技术历史上1990年被荷兰的阿斯麦运用。
光刻机掩膜版上承载有设计图形,光线透过它,把设计图形透射在光刻胶上。
在投影式光刻机中,掩膜版作为一个光学元件位于会聚透镜与投影透镜之间,并不和晶圆有直接接触。
掩膜上的图形缩小4~10倍后透射在晶圆表面。这个过程类似于传统照相机的底片功能,通过曝光工艺将图形从掩膜版转移到基底上。
“正在组织人力物力进行对这项技术进行公关,因为其中涉及到的东西比较多。”倪南听到刘海问这技术就开口回答。
“光刻机的折射率问题,我觉得可以通过液体解决,比如水,这也是一个研究方向。”刘海说的光刻机折射率的问题也正是在后面,荷兰阿斯麦战胜小本子的关键技术。
在90年代中期光刻机的巨头并不是阿斯麦,而是尼康与佳能,就因为阿斯麦先一步解决了激光折射率的问题,也就提前了半年时间。
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